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物理气相沉积和化学气相沉积的区别及优缺点?

     化学气相沉积过程中有化学反应,多种材料相互反应,生成新的的材料。

    物理气相沉积中没有化学反应,材料只是形态有改变。

    物理气相沉积技术工艺过程简单,对环境改善,无污染,耗材少,成膜均匀致密,与基体的结合力强。缺点膜一基结合力弱,镀膜不耐磨, 并有方向性。

    化学杂质搜索难以去除。优点可造金属膜、非金属膜,又可按要求制造多成分的合金膜,成膜速度快,膜的绕射性好。

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